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　　電容位移傳感器的精度決定著顯微鏡工作臺的精度
　　無論是生物工程中的細胞操作、集成電路或光電子器件的加工,還是采用電子顯微鏡進行納米操作,盡管其精度要求各不相同,但在硬件裝備中均有一項共性的關鍵技術,那就是要解決載物臺或其相應設備的高精度的自動測量和定位。要實現(xiàn)這項關鍵技術,高精度控制系統(tǒng)是非常重要的。搭建了一種閉環(huán)控制系統(tǒng),用于控制某特性顯微鏡工作臺。傳感器的使用是閉環(huán)控制中*的一環(huán)，電容位移傳感器的精度決定著系統(tǒng)的精度。
　　顯微鏡移動臺在移動停止后會有一定的反彈，平臺移動總的的位移量有幾毫米，但反彈量很微小，但反彈量決定了平臺的移動精度?？梢允褂秒姕u流傳感器測量平臺的較大范圍的移動，使用電容位移傳感器測量反彈的微小位移。
　　電容位移傳感器是一種非接觸式的電容式傳感器；兩個傳感器板形成一個平行板電容器，每個傳感器可用在兩個不同的測量范圍；納米分辨率；零磁滯。
　　作為測量模塊限定的精度，位移傳感器經(jīng)常在復雜的測量系統(tǒng)的中心用于檢查尺寸找到。在這方面的非常高的要求在性能和可靠性方面置于位移傳感器。重要的應用范圍是精度和溫度穩(wěn)定性，分辨率和截止頻率。
　　電容位移傳感器測量的方法是基于理想板型電容器的原理。在板的間隔的變化引起的總?cè)萘康淖兓?。具有傳感器系統(tǒng)的兩個板狀電極是由傳感器和目標形成的。如果在交替的恒定頻率的電流流過傳感器電容器，傳感器上的交變電壓的幅度正比于到目標（接地電極）的距離。通過板電容器的電抗XC的一個特殊評價，嚴格的比例關系是獲得沒有額外的線性化。在實踐中，這幾乎是理想的情況是線性版權由傳感器作為保護環(huán)的電容器的設計。這適用于所有的金屬作為的導電性的目標無關。
　　與半導體測量對象相對低電導率的金屬相比，具有對測量原理不利效果，因為這里有可以是在目標電荷輸送不足。在這種情況下，所述可以在目標的導電性被發(fā)現(xiàn)確實是“人為”，通過增加，例如，由測量點的合適的照明。這種效應被稱為“光電導”可以增加目標材料的導電性，許多大小等促進電容位移傳感器的應用程序。